Ultra{0}}Wífer Sileacain Fhíonchearnógach Do Mhicrea-leictreonaic & Optaleictreonaic

Páipéar Bán Teicniúil: Wafer Sileacain Ultra-Bíonchearnógach le haghaidh Optoelectronics & ICanna Ardleibhéil-Deireadh

Eolaíocht Ábhar an Domhain-Rialú Neamhíonachta Leibhéal & Saol Iompróra

Tá feidhmíocht LEDanna ardleibhéil agus gléasanna fótóineacha teoranta go bunúsach ag láithreacht neamhíonachtaí rianmhiotalacha. ÁrUltra{0}}Wífer Sileacan Cearnógach Ultraatá innealtóireacht le anAdamhach-Próifíl Íonachta Leibhéil ($11\\text{N}+$ Grád). Trí úsáid a bhaint as fás ultra-glan Czochralski (CZ) agus scagadh speisialaithe i bhfolús, laghdóimid neamhíonachtaí domhainleibhéil (amhail Fe, Cu, agus Ni) go$< 5 \text{ parts per trillion (ppt)}$. Cuireann an íonacht mhór seo cosc ​​​​ar lárionaid athcheangail neamh-radacha a fhoirmiú, ag leathnú go suntasach anSaol Iompróir Mionlaigh ($\\tau$). Le haghaidhSoilse agus Gléasanna Photonic, aistríonn sé seo go héifeachtacht chandamach níos airde agus maolú comhartha optúla íosta laistigh den laitís sileacain.

Innealtóireacht an Fhondúireacht Mhicrileictreonach

Ultra{0}}Míne, Locht-Dromchla Saor in Aisce le haghaidh Fo-Nanaiméadar:Trí phrótacal ilchéime-Pleanáil Mheicniúil Cheimiceach (CMP) a úsáid, bainimid amach gairbhe dromchla ($R_a$) de$< 0.05 \text{ nm}$. Tá an "Scáthán-Críoch" seo riachtanach le haghaidh táirgeadh ardtáirgeachtaCiorcaid Chomhtháite (ICanna), ag cinntiú nach bhfuil aon "Micri{0}}pits" dromchla ann chun cur isteach ar leanúnachas ocsaídí geata nó idirnascairí scannáin tanaí.

Céimseata Chearnóg Optamaithe le haghaidh Éifeachtúlacht Ábhar Uasta:Is rogha innealtóireachta straitéiseach é an cruth cearnach cruinneas chun an "Limistéar Inúsáidte" a uasmhéadú ar an wafer. Trí dheireadh a chur leis na réigiúin "Imeall-Eisiamh" de sliseog chiorclach traidisiúnta, soláthraíonn ár bhfoshraitheanna cearnacha suas le20% limistéar níos éifeachtaíle haghaidh leagan amach sliseanna bunaithe ar ghreille. Laghdaíonn sé seo dramhaíl ábhair agus íslíonn sé an costas iomlán-in aghaidh-taighde agusTáirgeadh ar Mhórscála.

Bainistíocht Teirmeach Eisceachtúil do Chomhpháirteanna-Ardfheidhmíochta:Le seoltacht teirmeach ard ($ \\ thart ar 149 \\text{ W/(m}\\cdot\\text{K)}$), feidhmíonn an laitís sileacain ultra-ghlan mar doirteal teasa inmheánach éifeachtach. Tá sé seo ríthábhachtach doComhpháirteanna Micrileictreonacha Ardfheidhmíochta, sa chás go gcuireann diomailt teasa tapa cosc ​​ar -sruth feidhmíochta spreagtha teirmeach agus go gcinntíonn sé iontaofacht fhadtéarmach ICanna ardchumhachta agus astaírí optoelectronic.

Airíonna Tréleictreacha Comhsheasmhacha le haghaidh Comhtháthú Fotonach:Cinntíonn aonfhoirmeacht na laitíse criostail innéacs athraonta cobhsaí agus tairiseach tréleictreach comhsheasmhach ar fud an dromchla sliseog ar fad. Tá sé seo ríthábhachtach doGléas Photonicdéantúsaíocht, nuair nach féidir rialú beacht a dhéanamh ar éifeachtacht iomadú solais agus cúplála solais.

Feidhmchláir Straitéiseacha

Ciorcaid Chomhtháite Ard-Dlúis (ICanna):Foshraith ardtorainn, ísealtorainn le haghaidh ard-loighic, cuimhne agus chipsets analógacha.

Ardtáirgeadh LED & Optoelectronic:Bonn ard-íonachta chun astaitheoirí solais éifeachtúla a dhéanamh agus fótabhrathadóirí ard-íogaireachta.

Interconnects Photonic & Waveguides:An t-ardán idéalach le haghaidh fótóinic sileacain (SiPh), a thacaíonn leis an gcéad ghlúin eile d'ionaid sonraí ardluais.

Taighde & Forbairt Ceannródaíoch-Cinnte:Ábhar iontaofa, "Zero-Bunlíne" chun éifeachtaí chandamach nua agus gléasanna leictreonacha nanastruchtúrtha a fhiosrú.

Clibeanna Te: sliseog sileacain ultra-chearnógach íon do mhicrileictreonaic & optoelectronics, wafer sileacain ultra-chearnógach íon do mhonaróirí micrileictreonaic & optoelectronics, soláthraithe, monarcha